ウエハー搬送装置開発・販売

開発・販売

  • EFEM、ソーター・移載機・外観検査検査装置などの開発・販売
  • 半導体製造装置部品の開発・販売
  • ロボット用ハンド・エフェクターの設計･販売

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実績例

◆◆４カセット移載機◆◆
◆◆12インチウエハー外観検査装置◆◆
◆◆卓上型ソーター/ウエハー取出し・収納◆◆



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